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扩展了Ｃｌａｕｓｉｎｇ－Ｎａｗｙｎ方法，阐述了稳态分子流基本方程的普适意义，指出入射率是比真空度更重要的参量。用该方程计算“原位Ｍｉｃｏｒ－ＶＣＭ装置”的可凝挥发物（ＶＣＭ）收集率，得到了满意的结果。
Clausing—Nawyn方法的扩展及应用实例
【摘 要】
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扩展了Ｃｌａｕｓｉｎｇ－Ｎａｗｙｎ方法，阐述了稳态分子流基本方程的普适意义，指出入射率是比真空度更重要的参量。用该方程计算“原位Ｍｉｃｏｒ－ＶＣＭ装置”的可凝挥发物（ＶＣＭ）收集率，得到了满意的结果。
【机 构】
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兰州物理研究所
【出 处】
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真空科学与技术
【发表日期】
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1995年3期
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