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Clausing—Nawyn方法的扩展及应用实例
Clausing—Nawyn方法的扩展及应用实例
来源 :真空科学与技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:dongyu661
【摘 要】
:
扩展了Clausing-Nawyn方法,阐述了稳态分子流基本方程的普适意义,指出入射率是比真空度更重要的参量。用该方程计算“原位Micor-VCM装置”的可凝挥发物(VCM)收集率,得到了满意的结果。
【作 者】
:
薛大同
【机 构】
:
兰州物理研究所
【出 处】
:
真空科学与技术
【发表日期】
:
1995年3期
【关键词】
:
分子流
克劳辛-纳温法
可凝挥发物
真空技术
Molecular flow
Clausing-Nawyn Method
VCM
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扩展了Clausing-Nawyn方法,阐述了稳态分子流基本方程的普适意义,指出入射率是比真空度更重要的参量。用该方程计算“原位Micor-VCM装置”的可凝挥发物(VCM)收集率,得到了满意的结果。
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