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全内反射(TIR)全息术相关论文
全内反射全息微光刻技术研究
该论文从光学全息的基本理论出发,对TIR全息光刻技术的原理及其实现方法进行了深入的理论研究与分析;并结合耦合波理论,讨论了显影......
学位
全内反射(TIR)全息术
全息微光刻
光刻技术
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