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共焦显微技术已被广泛应用于生物医学及材料学等微观样品的三维微结构测量领域。共轭针孔的引入使共焦显微技术具有了轴向层析能力,但也使得一次共焦探测仅能获得一个探测点的信息,因此在对被测样品进行共焦三维测量时需要进行三维逐点扫描,而三维扫描速率直接影响着共焦显微三维测量效率。为了实现共焦显微三维快速测量,课题“基于光束扫描的共焦显微三维测量技术研究”,深入分析了基于振镜扫描的平面光束扫描技术,设计了基于振镜平面扫描与测量物镜轴向扫描相结合的三维光束扫描方案,并以三维光束扫描分析为基础完成了基于光束