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半导体工艺进入０．２５μｍ时代，对溅射设备的微细化技术要求逐步接近极限。同时，设备投资效率的提高也是一个十分关键的环节，不仅要提高产量。......
达种排气方法的主要特点是利用了冷凝作用。众所周知,在真空系统中冷凝阱通常产生一定程度的排气作用;用铜箔或其他各种增加冷凝......
真空冷冻乾燥设备为利用真空冷冻技术,在40～50℃温度下乾燥食品之真空装置,经过真空冷冻乾燥的食品去除水份,保持原有营养素、色香......
一、引言 众所周知,油扩散泵广泛地应用到真空冶金、电子工业、原子能及宇宙模拟、国防军工等新技术领域中,其特点是结构简单、运......
本文描述借助于二部真空装置以获得4～5×10~(-10)毫米汞性的超高真空。其基本方法是串联接入附有高效率玻璃冷凝阱的二节扩散抽气机......
