分模曝光相关硕士博士期刊学术论文 - 搜论网

分模曝光相关论文

基于DMD光刻制作微柱透镜阵列分模曝光的研究

针对无掩模光刻技术制作微柱透镜阵列的面形精度问题,对曝光方式和掩模设计进行研究,采用一种分模曝光方法,包括图形分层,掩模设计......

期刊

无掩模光刻数字微镜灰度掩模微柱透镜阵列分模曝光

基于DMD无掩模光刻质量控制研究

光刻是微纳制造的关键技术,制约着微光学元件加工技术的发展。本文针对DMD无掩模光刻质量问题,在研究数字光刻原理的基础上,从掩模......

学位

DMD 无掩模光刻质量控制分模曝光

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