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PS段差的生产优化研究
为了满足人们对显示器的色彩和显示实用性的更高需求,TFT-LCD制造行业涌现了大量的新技术,如COA(Color Filter on Array)、POA(Pho......
学位
TFT-LCD
COA
PS段差
光罩
制程条件
蚀刻反应腔部件对制程条件影响及控制研究
蚀刻在半导体工艺中主要负责图形转换的过程,线宽的变窄对工艺的稳定性提出了相当高的要求。90nm以下的产品,对各方面要求都提高了......
学位
阳极氧化铝
Y2O3
膜厚
粗糙度
缺陷
电性
制程条件
使用寿命
良率
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