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动态波长调谐相关论文
基于Fabry-Perot腔的高精度MEMS加速度传感器
MEMS光学加速度传感器是一种将惯性系统内部敏感质量块的位移变化,转化为光学系统中光信号的变化量(波长、频率、能量)来间接测量加......
学位
MEMS加速度传感器
Fabry-Perot腔
光电集成
动态波长调谐
反射镜
硅硅键合
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