化学气相沉积设备相关论文
利用超高真空化学气相沉积设备,在Si(001)衬底上外延生长了4层Ge/Si量子点样品。通过原位掺杂的方法,对不同样品中的Ge/Si量子......
化学气相沉积系统设备用于在真空反应室中通过大电流对电阻丝加热,在一定压力下对流过的组分气体进行加热分解,在基体上沉积所需的......
利用微波等离子体化学气相沉积设备在高掺杂硅衬底上沉积一层金刚石薄膜,然后采用离子注入法在金刚石薄膜中注入不同剂量的从而制......
本文对串口通信技术进行了研究,利用Windows API函数设计实现了串口库,并将其应用到化学气相沉积设备PECVD控制系统中,取得了良好......
掺硼金刚石(BDD)涂层电极具有优异的电学和电化学性能,在有机物污水处理方面有广阔的应用前景。BDD涂层电极工业化应用首先要解决BDD......
坐落于北京市经济技术开发区文昌大道8号的北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司(以下简称北方微电子),作为国内领先的......