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溶液法铝诱导晶化多晶硅薄膜
介绍了一种基于溶液的廉价制备Al诱导晶化多晶硅薄膜的方法.先以低压化学气相沉积(LPCVD)方法制备50nm厚的非晶硅(amorphous silicon,......
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Al诱导晶化
化学诱导源
溶液法
多晶硅薄膜
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