半导体外延相关论文
材料的纯度直接影响了化合物半导体外延材料的物理性质,进而影响器件的质量.通常情况下,本征材料的常温和低温霍耳迁移率反应了外......
在制造半导体器件的外延工艺中,外延生长时通常要掺入杂质.如果杂质的扩散系数很小,杂质在外延层中的深度分布是均匀的;如果杂质的......
