利用 SIMOX技术和硅外延工艺制备了厚膜 SOI材料.采用 Secco液腐蚀、椭圆偏振仪 (SE)、 扩展电阻 (SRP)等技术对材料的性能进行了......

以注入氧隔离(SIMOX)技术制备的SOI(silicon-on-insulator)为衬底,利用气相外延生长技术获得了质量良好的厚膜SOI材料,进而通过反......