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在钛酸锶钡体材上溅射厚铜膜工艺
本文采用磁控溅射的方法在钛酸锶钡材料上涂覆金属铜膜.文章详细论述了溅射金属铜膜的工艺参数,并就这些参数对所镀膜层表面质量、......
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钛酸锶钡
磁控溅射
厚铜膜
在钛酸锶钡体材上溅射厚铜膜工艺
采用磁控溅射的方法在钛酸锶钡材料上涂覆金属铜膜。通过试验确定了钛酸锶钡电光材料进行溅射镀厚膜时的工艺参数,并对膜层的表面......
期刊
钛酸锶钡
磁控溅射
厚铜膜
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