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该文结合哈工大精密加工研究所研制的三坐标测量机,对微小尺寸测量中的微定位技术进行了研究.研制了X,Y二维工作台的控制系统,并进......
原子力显微镜(AtomicForceMicroscope,AFM)是一种纳米精度的表面形貌测量仪器,利用其纳米尺度的针尖对样品表面进行刻划,可以......
表面粗糙度是零件加工的重要技术参数，影响着零件的强度、润滑、配合等性能，对产品质量控制、加工工艺研究、材料性能研究等都有着十......
