【摘 要】
:
表面粗糙度是零件加工的重要技术参数,影响着零件的强度、润滑、配合等性能,对产品质量控制、加工工艺研究、材料性能研究等都有着十分重要的意义。随着超精密加工技术的迅速发
论文部分内容阅读
表面粗糙度是零件加工的重要技术参数,影响着零件的强度、润滑、配合等性能,对产品质量控制、加工工艺研究、材料性能研究等都有着十分重要的意义。随着超精密加工技术的迅速发展,超精密表面越来越多地出现在现代高科技技术和产业中,其表面粗糙度测量需要纳米级的横向分辨率。传统的触针法和干涉法的横向分辨率不高,而扫描探针显微镜虽然具有极高的横向分辨率,但其计量特性差,都难以用于超精密表面的粗糙度测量。为此,本文研究了基于白光干涉的触针式表面粗糙度测量技术,包括用于超精密表面的原子力探针测量方法和用于工程表面的金刚石触针测量方法。研究了基于白光干涉的原子力探针测量方法,设计了显微干涉系统、扫描系统和原子力探针测头,编写了测量程序。该方法能达到横向分辨率2nm,纵向分辨率1nm,水平测量范围0~60μm,单视场垂直测量范围0~2μm。研究了基于白光干涉的金刚石触针测量方法,设计了金刚石触针测头。该方法与原子力探针测量方法共用测量系统,较好地实现了多功能集成,能达到纵向分辨率10nm,水平测量范围0~30mm,垂直测量范围0~20μm。通过实验对测量系统的示值误差、重复性、稳定性等性能进行了测试和验证,并对典型样品进行了测量。实验结果表明该技术能应用于超精密表面和工程表面的粗糙度测量。
其他文献
<正> 思维有三个基础性定理,这就是思维与信息相关第一定理、第二定理与第三定理。现将经我研究得出的这三个定理简介于下。一、思维与信息相关第一定理 1、可能信息和意识作
在汽车工业高速发展的今天,安全性的要求越来越高。因此对汽车制动系统中耐磨材料的使用寿命和安全稳定性的要求也更加苛刻。为了实现对制动系统中耐磨材料的要求,本课题以铁基
你最喜欢什么时候的自己?某一个周末后,醒来时突然想到这个问题时心里一振.其实仔细想想,你喜欢什么时候的自己,其实就是你想成为什么样的人,你喜欢的自己的那个样子,就是你想
中国汽车行业的飞速发展所带来的能耗、排放和环保等问题,促使汽车轻量化成为备受关注的话题。压力铸造作为近代金属加工工艺中发展较快的一种少无切削的特种铸造方法和一种
齿轮是机械传动的关键部件,而齿轮制造质量取决于齿轮的检测水平。齿距偏差是齿轮高精度检测中的必检项目之一。高精度齿轮测量中仪器误差在测量结果中占重要部分,因此有必要
本文采用熔炼铸造、时效热处理结合冷拉拔的方式制备了Cu-Cr合金。通过TEM观察,重点研究了冷变形过程中合金显微组织尤其是Cu/Cr;相界面结构的演变,分析了Cu/Cr相界面对合金
在我国古代设计史中,汉代的长信宫灯凭借装饰与实用完美结合的特点在设计史上留下浓厚的一笔。本文通过对"长信宫灯"的演变传承、各方面特点进行论述,来探讨它对现代设计的启
本文是对新时代陕西高校大学生思想政治教育实效性进行研究,在研究之前阅读了关于大学生思想政治在教育实效性相关的文献,了解到在新时代大环境下大学生思想政治教育实效性教育的迫切性,本课题研究是以提升大学生思想政治教育的实效性为目的。研究的内容,主要对新时代、思想政治教育实效性、大学生思想政治教育实效性的概念进行界定,将新时代对大学生思想政治在教育实效性的要求进行分析。在习近平新时代中国特色社会主义思想的
小说《莲花》是安妮宝贝转型时期的代表作,表现了其别具一格的时间意识。作者通过善生这个角色将回忆里的时间与现实中的时间进行有效联结,同时为小说精心设计了独具匠心的时间
高速铣削加工在工业生产中已经得到了越来越广泛的应用,而制约高速铣削加工效率的一个重要问题就是颤振。获取高速铣削系统尤其是“主轴一刀柄一刀具”系统的动力学特性参数