反应粒子相关论文
在等离子体的工业应用中,为了实现等离子体刻蚀中高选择性和低损伤的软等离子体的产生,及等离子体材料制备中与合成的材料和性能密......
学位
在PCVD成膜过程中,电子温度是一个重要的参数,它对于在成膜中起关键作用的反应粒子和基因的产生和变化具体决定性的影响.如果可以......
由溅射速率方程和反应粒子输运方程得出了靶面化合物的覆盖度.所有方程都用反应室结构参数和宏观参数表示.文中还给出了溅射淀积Ti......
