不同离轴滤波器增大焦深的新型曝光方法已研制中ＫｒＦ准分子激光光刻技术生产第二代６４Ｍ ＤＲＡＭ器件增添了活力。用这种新制作０．３５μｍ的Ｘ，Ｙ向及斜向的图形......