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表面台阶高度测量在表面计量学中有十分重要的作用。一方面,表面测量技术通过台阶高度可以溯源到米的定义;另一方面,半导体制造业......
摘要：本文提出了一个适合台阶高度测量的大量程高精度双波长光纤干涉在线测量系统。采用光纤布拉格光栅作为光纤内置反射镜,使两束......
