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采用磁控溅射镀膜技术制备Al和CuO薄膜,通过扫描电子显微镜(SEM)测试薄膜厚度,计算得出Al薄膜沉积速率为2.105nm/min,CuO薄膜沉积速......
基于微机电起爆器的的原理及构成,对微机电起爆器涉及的含能桥、微小尺寸爆炸序列、微机电混合装配等关键技术进行了研究。结果表......
设计了含能桥的结构,采用磁控溅射方法制备硼/钛多层含能桥。对含能薄膜进行X射线衍射图谱测试,并用扫描电镜对含能桥进行了断面和......
介绍了微机电起爆器的构成原理,分析了国内外研究现状,总结了微机电起爆器研究涉及的关键技术。结果表明,微机电灵巧雷管通过微机......