阶梯型微悬臂梁是低驱动电压MEMS器件中广泛采用的一种典型的低刚度结构.本文提出了阶梯型微悬臂梁固有频率近似解,并揭示了其振动......

在静电激励MEMS/NEMS吸合特性研究中,控制方程为六阶非线性微分方程.由于静电力和梁的弹性恢复力的耦合作用,其解曲线中存在奇异点......

微/纳机电系统(M/NEMS)具有独特的物理性能,更好的力电耦合特性和较低的能耗,近年来已经越来越多地应用在微纳米智能工程中。在微/......

分析了不同类型电磁驱动微器件的吸合特性，将所得结果与前人的结果进行比较并讨论．结果表明：在磁动势控制模型中，竖直式结构和点式旋转......

在静电激励微机电系统MEMS（micro-electro-mechanical systems）吸合特性研究中,基于应变梯度理论的微梁结构的控制方程是非线性高阶......

基于修正偶应力理论研究了静电驱动微悬臂梁在考虑Casimir力时的静态吸合特性。利用最小势能原理得到了微悬臂梁弯曲的控制方程和......

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