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图形刻蚀相关论文

微波低噪声放大器毁伤机理研究和SiC薄膜的外延生长与刻蚀技术研究

本文由两篇构成,第一篇是微波低噪声放大器(LNA)毁伤机理研究,第二篇是SiC薄膜的外延生长与等离子体刻蚀技术研究。由于半导体器件......

学位

半导体器件集成电路微波低噪声放大器注入式毁伤实验毁伤机理 SiC薄膜外延生长等离子体刻蚀图形刻蚀

CVD外延生长SiC薄膜的等离子体图形刻蚀研究

采用等离子体刻蚀工艺，以四氟化碳(CF4）和氧气(O2）的混合气体作为刻蚀气体，对常压化学气相淀积工艺制备的β-SiC单晶薄膜进行了系统的......

期刊

等离子体图形刻蚀掩模

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