介绍了一种利用圆环孔径和锥镜剪切散斑干涉技术检测缺陷的新方法，该方法是一种非接触式的检测方法．不受缺陷形状和位置的影响，能够准......

ue＊M＃’＃dkB4＃＃8＃”专利申请号:00109“7公开号:1278062申请日:00.06.23公开日:00.12.27申请人地址:（100084川C京市海淀区清华园申请人:清......

基于夫琅禾费衍射理论,通过对衍射积分的核函数进行近似,推导并得出了简洁的经圆环形孔径衍射的高斯光束远场发散角的近似解析式。......