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均匀纳米低介电常数材料相关论文
均匀纳米低介电常数材料的设计、制备及表征
随着超大规模集成电路(ULSI)中器件集成度的逐步提高,半导体芯片内部金属连线间和层间的阻容耦合延迟及串扰越来越严重,从而导致信......
学位
均匀纳米低介电常数材料
分子设计
杂化聚合物薄膜
纳米压痕法
力学性能
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