本文采用ＳＩＭＳ、ＴＥＭ、ＲＢ等测试手段，分析了注入剂量改变对ＳＩＭＯＸ材料顶层硅和埋氧化层微结构的影响，研究结果表明，注入剂理低于０．６×１０＾１８Ｏ＾＋／ｃｍ＾２时，经过１３００℃，６小时的高......