多光子光刻相关论文
近年来，随着集成电路向亚微米、纳米方向的快速发展，光刻技术的加工分辨率已经进入纳米量级。纳米器件的发展趋势不仅要求特征尺寸越......
飞秒激光多光子微纳加工已经成为当今国际研究的热点。为提高商用光刻胶的多光子光刻和金属微纳结构的多光子还原直写的分辨率，将多......
分子玻璃材料和多光子光刻技术分别是近年来光刻胶和光刻技术领域的研究热点．本文对分子玻璃正性光刻胶在多光子光刻中的应用进行了......
