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多芳环共轭碳酸叔丁酯相关论文
多芳环共轭碳酸叔丁酯及五氟磺草胺中间体的合成
光刻胶是集成电路(IC)制作所需的关键性材料,它随IC的发展而发展。IC的加工线宽不断缩小,对光刻胶分辨率的要求也不断提高。在光刻工......
学位
集成电路
光刻胶
合成设计
五氟磺草胺
中间体
多芳环共轭碳酸叔丁酯
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