采用多靶磁控溅射制备了 Ｗ／ＳｉＣ纳米多层膜。并用 ＸＲＤ和 ＴＥＭ研究了 Ｗ／ＳｉＣ纳米多层膜的微结构。研究表明，Ｗ／ＳｉＣ纳米多层膜的调制结构界面平直、清晰、周期性......

采用 XRD和 HREM技术研究了多靶磁控溅射法制备的 W/Si C纳米多层膜的微结构 .结果表明 ,在多层膜中 ,Si C调制层为非晶态 ;W调制......

采用多靶磁控溅射制备了Ｗ／ＳｉＣ纳米多层膜，并用ＸＲＤ和ＴＥＭ研究了Ｗ／ＳｉＣ纳米多层膜的微结构。研究表明，Ｗ／ＳｉＣ纳米多层膜的调制结构界面平直，清晰，周期性好，ＳｉＣ调制层为......