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宏微运动控制相关论文
迭代学习控制方法及其在扫描光刻系统中的应用研究
扫描光刻系统是重要的半导体制造装备,为了提高扫描光刻系统的动态跟踪性能和产率,本文引入迭代学习控制方法。根据扫描光刻系统的特......
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扫描光刻系统
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宏微运动控制
纳米光栅动静态校准工作台
为了改善纳米光栅校准装置校准精度、校准量程及动态频响难以兼顾的问题,采用宏微运动控制方法驱动校准装置作快速、精密、大范围......
期刊
计量学
纳米光栅校准
宏微运动控制
动静态校准
动力学建模
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