宏微运动控制相关硕士博士期刊学术论文 - 搜论网

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迭代学习控制方法及其在扫描光刻系统中的应用研究

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扫描光刻系统迭代学习控制鲁棒收敛性能分段学习控制非因果性宏微运动控制

纳米光栅动静态校准工作台

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期刊

计量学纳米光栅校准宏微运动控制动静态校准动力学建模

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