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对靶溅射法相关论文
高矫顽力铁氧体膜的制作及其在硬盘介质上的应用
采用溅射法制作高密度硬盘所必须的钡铁氧体膜及其磁特性的改进。垂直磁记录介质用的钡铁氧体溅射膜采用Xe(氙)溅射法来制作,可以将矫顽......
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对靶溅射法
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