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射频(RF)磁控相关论文

靶基距对反应溅射AlN薄膜微结构和性能的影响

采用射频(RF)磁控反应溅射法在Si基底上制备了氮化铝(AlN)薄膜,利用X射线衍射(XRD)、傅立叶红外光谱(FTIR)、扫描电子显微镜(SEM)......

期刊

反应溅射 AlN 薄膜靶基距压电薄膜氮化铝射频(RF)磁控薄膜微结构结晶质量器件性能

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