射频共溅射相关论文
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用射频共射复合靶技术和Ｎ２气保护下高温退火的后处理方法，在Ｓｉ衬底上制备出了碳化硅薄膜，通过傅里叶变换红外光谱、室温光致发光谱、电阻......
采用射频共溅射方法制备了NixZn1-xO（x=0．78、0．72、0．68）薄膜。薄膜有非晶相和少量的NiO结晶相的存在。样品都具有明显的室温铁磁性，退......
