RF共溅射相关硕士博士期刊学术论文

用射频共射复合靶技术和Ｎ２气保护下高温退火的后处理方法，在Ｓｉ衬底上制备出了碳化硅薄膜，通过傅里叶变换红外光谱、室温光致发光谱、电阻......