无掩模腐蚀相关论文
本文报告了用于风洞流速精密测控的高精度硅压阻微差压传感器的设计与制造.采用梁膜岛复合力敏结构设计获得了低量程下的高输出灵......
该文介绍一种正交复合梁－质量块结构的硅微机械陀螺。正交复合梁由垂直梁和水平梁两部分构成，是多层结。采用无掩模腐蚀新技术已实现......
硅各向异性湿法腐蚀是重要的微机械加工技术,传统的腐蚀技术在制造多层结构时遇到了较大的困难,而最近开发成功的无掩模腐蚀新技术......
