微位移台相关论文
计量型扫描电子显微镜(M-SEM,计量电镜)是一种准确测量纳米结构尺寸的分析设备,通过扫描电子显微镜(SEM,扫描电镜)与先进的微纳位......
为提高计量型扫描电镜位移系统的稳定性及测量精度,对位移系统中的机械位移台进行仿真分析,获取相关振动参数。依据机械位移台工况......