【摘 要】
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为提高计量型扫描电镜位移系统的稳定性及测量精度,对位移系统中的机械位移台进行仿真分析,获取相关振动参数。依据机械位移台工况建立模型,运用有限元方法对它进行静力及模
【机 构】
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华北理工大学机械工程学院,中国科学院国家纳米科学中心中国科学院纳米标准与检测重点实验室,中国科学院电工研究所北京市生物电磁学重点实验室,中国科学院大学
【基金项目】
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国家自然科学基金资助项目(No.51472074),河北省引进海外高层次人才“百人计划”资助项目(No.E2012100005),国家重点研发计划课题(No.2017YFF0105904).
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为提高计量型扫描电镜位移系统的稳定性及测量精度,对位移系统中的机械位移台进行仿真分析,获取相关振动参数。依据机械位移台工况建立模型,运用有限元方法对它进行静力及模态分析,获取机械位移台系统结构的振动参数;在模态分析的基础上对机械位移台进行谐响应分析,获取外界载荷频率与位移台上平面应力、应变、变形以及加速度之间的关系。机械位移台的静刚度为6.634×10^5N/mm;水平X,Z两运动方向的耦合比分别为15.22%和17.63%;通过上层平面振动参数关于频率的响应曲线,得出危险频率为7750Hz左右
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