微光学阵列元件相关硕士博士期刊学术论文 - 搜论网

微光学阵列元件相关论文

微光学阵列元件离子束刻蚀制作的分析与讨论

阐述了利用离子束刻蚀技术制作微光学阵列元件的工艺条件，研究和实验结果表明，通过光刻热熔法制作的光致抗蚀剂掩模图形经具有不同能......

期刊

离子束刻蚀微光学阵列元件掩模光刻热熔法 ion beam etching microoptics array device fabricat

新型电化学三维微纳米结构加工研究

随着微机电系统（MEMS）技术的快速发展，大面积复杂三维微纳米结构的批量加工方法已成为当前高新技术领域的一个研究热点，各种可能的加工......

学位

约束刻蚀剂层技术电化学湿印章技术微加工金属微光学阵列元件

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