微型可编程光栅相关论文
在微机电系统技术的基础上, 采用两层多晶硅表面微加工工艺, 研制了一种新型的微型可编程光栅, 利用静电驱动方式实现对光栅闪耀角......
作为一项重要的光学性能, 微型可编程光栅的最大闪耀角决定了其可用光谱波段。提出了两种微型可编程光栅最大闪耀角的实验测量方法......
研制了一种基于微光机电系统(MOEMS)技术的新型微型可编程光栅——周期可调光栅。该光栅采用玻璃体上硅(SOG)加工工艺,静电梳齿驱......
在微机电系统技术的基础上,采用两层多晶硅表面微加工工艺,设计并加工制作了一种闪耀角可调式的微型可编程光栅。介绍了微型可编程......
近10几年来，微机电系统——MEMS技术作为一种使能技术，在各个领域（如机械、生物、光学、射频、能源等）得到了迅速发展，并实现了一定的产......
近十几年来,微机电系统——MEMS技术作为一种使能技术,在各个领域（如机械、生物、光学、射频、能源等）得到了迅速发展,并实现了一定......
