微型硅相关论文
介绍了中国电子科技集团公司第十三研究所在MEMS惯性传感器方面的研究和开发情况.主要有已定型的±501g MEMS电子表容力平衡加速度......
该文研究了一种由光来激励并检测的微谐振型光纤传感器，说明了利用单晶硅制作微型硅谐振器的制作方法。在实验的基础上分析了谐振器......
<正> 用于长途通信和测量技术这类弱电线路的继电器,其发展不断趋于微型化。另外,由于采用了微细加工工艺,结构的尺寸将在不远的将......
