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硅MEMS惯性传感器研究和开发

来源 :2003年惯性仪表与元件学术交流会 | 被引量 : 0次 | 上传用户：blacksi

【摘 要】

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介绍了中国电子科技集团公司第十三研究所在MEMS惯性传感器方面的研究和开发情况.主要有已定型的±501g MEMS电子表容力平衡加速度传感器,即将定型±70g二维MEMS电容力平衡加

【作 者】

：

杨拥军 徐爱东 郑锋 徐永青 何洪涛 卞玉民 吝海锋 吕树海 罗蓉 邹学锋 

【机 构】

：

中国电子科技集团公司第十三研究所(石家庄)

【出 处】

：

2003年惯性仪表与元件学术交流会

【发表日期】

：

2003年8期

【关键词】

：

微型硅 MEMS加速度传感器 MEMS振动陀螺仪 

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介绍了中国电子科技集团公司第十三研究所在MEMS惯性传感器方面的研究和开发情况.主要有已定型的±501g MEMS电子表容力平衡加速度传感器,即将定型±70g二维MEMS电容力平衡加速度传感器,准备定型的±2g,±10g高分辨率MEMS电容力平衡加速度传感器,已经得到初步应用的单、双轴MEMS热对流加速度传感器,研发中的MEMS振动陀螺仪和高g MEMS加速度传感器等.

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