论文部分内容阅读
介绍了中国电子科技集团公司第十三研究所在MEMS惯性传感器方面的研究和开发情况.主要有已定型的±501g MEMS电子表容力平衡加速度传感器,即将定型±70g二维MEMS电容力平衡加速度传感器,准备定型的±2g,±10g高分辨率MEMS电容力平衡加速度传感器,已经得到初步应用的单、双轴MEMS热对流加速度传感器,研发中的MEMS振动陀螺仪和高g MEMS加速度传感器等.