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微悬空结构释放相关论文
三维掩膜硅各向异性腐蚀工艺释放微悬空结构
提出了一种新颖的基于三维掩膜的硅各向异性腐蚀工艺,即利用深反应离子刻蚀、湿法腐蚀等常规体硅刻蚀工艺和氧化、化学气相沉积(CV......
期刊
微悬空结构释放
体硅工艺
三维掩膜
各向异性腐蚀
腐蚀模拟
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