微机械音叉陀螺相关论文
定性地讨论了微机械音叉陀螺特有的一些误差源，主要有机械结构的 Ｂｒｏｗｎｉａｎ噪声、电路噪声、机械耦合误差及电子机械耦合误差等．对上述误差源......
定性地讨论了微机械音叉特有的一些误差源。主要有机械结构的Ｂｒｏｗｉｎａｎ噪声，电路噪声，等。对上述误差源的认识是微结构制造和电路设计的基础。......
体硅MEMS工艺是一种主要的微机电系统加工手段，通过对陀螺结构研究和体硅MEMS工艺的实验，在陀螺的版图设计和工艺加工方面积累了一些......
检测灵敏直接关系到陀螺性能的优劣，并尝试用静电力调节敏感模态谐振频率， 提高检测灵敏度。......
在分析微机械音叉陀螺的输出信号与驱动信号频率及幅度关系的基础上,提出对微机械音叉陀螺采用自激振荡闭环驱动方法,为微机械音叉......
