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微机械音叉陀螺的误差源研究
微机械音叉陀螺的误差源研究
来源 :传感技术学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:tyb798229
【摘 要】
:
定性地讨论了微机械音叉特有的一些误差源。主要有机械结构的Browinan噪声,电路噪声,等。对上述误差源的认识是微结构制造和电路设计的基础。
【作 者】
:
李万玉
阮爱武
【机 构】
:
航空工业总公司第618研究所七室,西北工业大学自动控制系,西安交通大学电子与信息学院,710049,航空工业总公司第618研究所七室,710065
【出 处】
:
传感技术学报
【发表日期】
:
1999年4期
【关键词】
:
微机械音叉陀螺
误差源
微机械陀螺
micromachined tuning fork gyroscope Brownian noise electronic
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定性地讨论了微机械音叉特有的一些误差源。主要有机械结构的Browinan噪声,电路噪声,等。对上述误差源的认识是微结构制造和电路设计的基础。
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