微波表面波相关论文
为在PET瓶内表面沉积高阻隔、抗迁移纳米氧化硅薄膜,我们采用新型表面波源产生等离子体.微波表面波等离子体源中微波源功率通过柱状......
本文利用微波表面波等离子体化学气相沉积(PECVD)技术在载玻片、单晶硅片、PET膜等基底上沉积类金刚石(Diamond-like Carbon,DLC)薄......
目的探讨使用脉冲微波表面波等离子体辅助化学气相沉积技术在聚对苯二甲酸乙二醇酯(PET)材料表面沉积类金刚石薄膜作为阻隔层的可......
报道了利用多腔耦合微波表面波等离子体增强化学气相沉积(PECVD)的方法制备类金刚石(DLC)薄膜。通过发射光谱(OES)测量,对Ar等离子......