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微电子制造领域的磁悬浮精密定位平台的结构设计研究
利用磁悬浮技术铁磁性平台悬浮在磁场中,通过线性电机无接触驱动,结合技术实现平台的快速精密定位。合理的设计将悬浮力和导向和两个......
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