微电子制造领域的磁悬浮精密定位平台的结构设计研究

来源 :光学精密工程 | 被引量 : 0次 | 上传用户:cqxiaoguai1986
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利用磁悬浮技术铁磁性平台悬浮在磁场中,通过线性电机无接触驱动,结合技术实现平台的快速精密定位。合理的设计将悬浮力和导向和两个磁悬浮系统合二为一,即结构简单,控制容易又能获得精确的导向精度。选用线性同步电机,避免了感应电机磁场感应所产生的法向力对平台的振动作用,有利于悬浮系统的控制。悬浮系统无接触,无摩擦,克服了磨损、金属粉尘及油脂污染等问题;无接触线性驱动减少了机械联结件,消除了联结间隙,减轻了重量,能有效提高动态响应频率和定位问题;无接触线性驱动减少了机械联结件,消除了联结间隙,减轻了重量,能有效提高动
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