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微纳BNT铁电薄膜阵列制备及性能研究
采用溶胶-凝胶和旋涂抽滤方法,在硅微通道(Si—MCP)衬底的内壁上涂敷前驱物,然后分别在600℃,650℃,700℃和750℃条件下制备Bi3.15Nd0.85......
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铁电薄膜
微纳薄膜阵列
硅微通道板
钕掺杂太酸铋
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