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微衍射光学元件相关论文
准分子激光刻蚀聚合物制作微光学元件
该文主要描述了两种波托准分子激光消融刻蚀聚合物制作位相光栅,以及准分子激光消融刻蚀某些无机材料的实验研究.实验中主要研究了......
学位
准分子激光
聚合物
刻蚀
微衍射光学元件
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