论文部分内容阅读
该文主要描述了两种波托准分子激光消融刻蚀聚合物制作位相光栅,以及准分子激光消融刻蚀某些无机材料的实验研究.实验中主要研究了两种波长准分子激光对PI(polyimide)、PC(polycarbonate)和PMMA(polymethyl methacrylate)三种常用聚合物的刻蚀,并探讨了数据种刻蚀机制.