准分子激光刻蚀聚合物制作微光学元件

来源 :中国科学院上海光学精密机械研究所 | 被引量 : 0次 | 上传用户：qhjiso

【摘要】

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该文主要描述了两种波托准分子激光消融刻蚀聚合物制作位相光栅,以及准分子激光消融刻蚀某些无机材料的实验研究.实验中主要研究了两种波长准分子激光对PI(polyimide)、PC(po

【作者】

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章琳

【机构】

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中国科学院上海光学精密机械研究所

【出处】

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中国科学院上海光学精密机械研究所

【发表日期】

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2001年期

【关键词】

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准分子激光聚合物刻蚀微衍射光学元件

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该文主要描述了两种波托准分子激光消融刻蚀聚合物制作位相光栅,以及准分子激光消融刻蚀某些无机材料的实验研究.实验中主要研究了两种波长准分子激光对PI(polyimide)、PC(polycarbonate)和PMMA(polymethyl methacrylate)三种常用聚合物的刻蚀,并探讨了数据种刻蚀机制.

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