对Ｓｉ－ＦＥＡ冷发射微阴极阵列的微电子工艺技术制备方案及其测试观察结果进行了技术报道。已经获得了２０×２０／１００×１００硅尖锥阵列和栅压在１００￣４００Ｖ之间５０μ......