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性能和组织结构相关论文

磁场非平衡度对磁控溅射Cr镀层沉积过程的影响

本文通过改变矩形平面磁控管内心部磁铁的磁感应强度,得到了七组非平衡程度各不相同的磁场组态,并采用高斯仪测量了各组磁控管表面......

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磁场非平衡度 Cr镀层性能和组织结构影响机理

靶基相对位置对C/Cr复合镀层性能和组织结构的影响

闭合场非平衡磁控溅射镀膜设备真空腔尺寸较大,工位很有可能显著影响镀层的质量。目前,有关这方面的研究主要集中在工位对镀层厚度......

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非平衡磁控溅射 C/Cr复合镀层靶基相对位置性能和组织结构影响机理

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